Магнетронные системы ионного распыления: (Основы теории и расчета) : Учеб. пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ионного распыления" / Под ред. С. Д. Гришина
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Марахтанов, М. К. |
| Publié: | М. : Изд-во МГТУ , 1990 |
| Description matérielle: |
75 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||