
Магнетронные системы ионного распыления: (Основы теории и расчета) : Учеб. пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ионного распыления" / Под ред. С. Д. Гришина
Сохранено в:
格式: | |
---|---|
主要作者: | Марахтанов, М. К. |
出版: | М. : Изд-во МГТУ , 1990 |
實物描述: |
75 с.
|
語言: | Русский |
主題: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|