|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr15177800000 |
| 005 |
20200104101257.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 17 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-41598]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070402d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Магнетронные системы ионного распыления
$e (Основы теории и расчета) : Учеб. пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ионного распыления"
$f Под ред. С. Д. Гришина
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Изд-во МГТУ
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 75 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 74―75 (31 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие - Получение
|
| 610 |
0 |
# |
$a Распылители магнетронные
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592-416.002:621.793.7.06(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Марахтанов
$b М. К.
$g Михаил Константинович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070402
$g psbo
|
