Магнетронные системы ионного распыления: (Основы теории и расчета) : Учеб. пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ионного распыления" / Под ред. С. Д. Гришина
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Марахтанов, М. К. |
| Published: | М. : Изд-во МГТУ , 1990 |
| Physical Description: |
75 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||