Магнетронные системы ионного распыления: (Основы теории и расчета) : Учеб. пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ионного распыления" / Под ред. С. Д. Гришина
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Марахтанов, М. К. |
| Апублікавана: | М. : Изд-во МГТУ , 1990 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
75 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||