Магнетронные системы ионного распыления: (Основы теории и расчета) : Учеб. пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ионного распыления" / Под ред. С. Д. Гришина
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Марахтанов, М. К. |
| Publicado: | М. : Изд-во МГТУ , 1990 |
| Descripción Física: |
75 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||