Высокопроизводительные системы ионного распыления с использованием контрагированной плазмы дугового и тлеющего разрядов, оборудование и технология получения покрытий: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук в форме науч. докл.: (05.03.06) / АН Украины, Ин-т электросварки им. Е. О. Патона
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кузнецов, М. В. |
| Опубликовано: | Киев , 1991 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||