Магнетронные системы ионного распыления: (Основы теории и расчета) : Учеб. пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ионного распыления" / Под ред. С. Д. Гришина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Марахтанов, М. К. |
| Опубликовано: | М. : Изд-во МГТУ , 1990 |
| Физические характеристики: |
75 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||