Исследование тепло- и массопереноса при автоэпитаксиальном наращивании монокристаллических пленок кремния в вертикальном реакторе кольцевого типа: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.14.05 Теоретические основы теплотехники / Любарский Анатолий Иосифович
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Любарский, А. И. |
| Publicado: | Минск , 1972 |
| Descripción Física: |
26 с. : ил.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: | |
| Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||