Исследование тепло- и массопереноса при автоэпитаксиальном наращивании монокристаллических пленок кремния в вертикальном реакторе кольцевого типа: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.14.05 Теоретические основы теплотехники / Любарский Анатолий Иосифович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Любарский, А. И. |
| Апублікавана: | Минск , 1972 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
26 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||