Исследование технологических особенностей получения монокристаллических пленок кремния на сапфире при вакуумной эпитаксии: (05.12.11): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / АН УССР. Ин-т полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Стадник, А. В. |
| Опубликовано: | Киев , 1974 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||