Исследование тепло- и массопереноса при автоэпитаксиальном наращивании монокристаллических пленок кремния в вертикальном реакторе кольцевого типа: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.14.05 Теоретические основы теплотехники / Любарский Анатолий Иосифович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Любарский, А. И. |
| Опубликовано: | Минск , 1972 |
| Физические характеристики: |
26 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||