Исследование тепло- и массопереноса при автоэпитаксиальном наращивании монокристаллических пленок кремния в вертикальном реакторе кольцевого типа: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.14.05 Теоретические основы теплотехники / Любарский Анатолий Иосифович

Сохранено в:
Шифр документа: Ба125158,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Любарский, А. И.
Опубликовано: Минск , 1972
Физические характеристики: 26 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ
ЭПИТАКСИЯ (физ.)
КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ
ПРОМЫШЛЕННЫЕ РЕАКТОРЫ
ТЕПЛОМАССОПЕРЕНОС
ТЕТРАХЛОРИД КРЕМНИЯ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br719732
005 20220414180125.0
100 # # $a 20050518d1972 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование тепло- и массопереноса при автоэпитаксиальном наращивании монокристаллических пленок кремния в вертикальном реакторе кольцевого типа  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.14.05 Теоретические основы теплотехники  $f Любарский Анатолий Иосифович  $g Академия наук БССР, Институт тепло- и массообмена 
210 # # $a Минск  $d 1972 
215 # # $a 26 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 16―19 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2685016  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18853  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39620  $a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39622  $a ЭПИТАКСИЯ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15212  $a КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83304  $a ПРОМЫШЛЕННЫЕ РЕАКТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33460  $a ТЕПЛОМАССОПЕРЕНОС  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1822074  $a ТЕТРАХЛОРИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1-027.3:621.793.162.01:536.2(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.14.05  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 30.17.35  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-210833  $a Любарский  $b А. И.  $g Анатолий Иосифович  $c кандидат технических наук, массообмен 
712 0 2 $3 BY-SEK-981827  $a Институт тепло- и массообмена  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050518  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br719732&fileID=113086 

Схожие документы