Исследование тепло- и массопереноса при автоэпитаксиальном наращивании монокристаллических пленок кремния в вертикальном реакторе кольцевого типа: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.14.05 Теоретические основы теплотехники / Любарский Анатолий Иосифович
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Любарский, А. И. |
| 出版: | Минск , 1972 |
| 實物描述: |
26 с. : ил.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: | |
| 在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||