Технологическое обеспечение прецизионной механической обработки пластин кремния при разделении их на базовые элементы алмазными дисками: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.02.08 Технология машиностроения / Коновалов Игорь Васильевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коновалов, И. В. |
| Опубликовано: | Минск , 1984 |
| Физические характеристики: |
19, [1] с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 3 | Доступно Заказать | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||