Технологическое обеспечение прецизионной механической обработки пластин кремния при разделении их на базовые элементы алмазными дисками: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.02.08 Технология машиностроения / Коновалов Игорь Васильевич
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Коновалов, И. В. |
| Publié: | Минск , 1984 |
| Description matérielle: |
19, [1] с. : рис.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 3 | Disponible Réserver | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||