Технологическое обеспечение прецизионной механической обработки пластин кремния при разделении их на базовые элементы алмазными дисками: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.02.08 Технология машиностроения / Коновалов Игорь Васильевич
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Коновалов, И. В. |
| Veröffentlicht: | Минск , 1984 |
| Beschreibung: |
19, [1] с. : рис.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 3 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||