Технологическое обеспечение прецизионной механической обработки пластин кремния при разделении их на базовые элементы алмазными дисками: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.02.08 Технология машиностроения / Коновалов Игорь Васильевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Коновалов, И. В. |
| Апублікавана: | Минск , 1984 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
19, [1] с. : рис.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 3 , даступна: 3 | Даступна Замовіць | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||