Технологическое обеспечение прецизионной механической обработки пластин кремния при разделении их на базовые элементы алмазными дисками: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.02.08 Технология машиностроения / Коновалов Игорь Васильевич

Сохранено в:
Шифр документа: Ба194978, 3345/86СК, БА199097,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Коновалов, И. В.
Опубликовано: Минск , 1984
Физические характеристики: 19, [1] с. : рис.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br233818
005 20230429095333.0
100 # # $a 19981005d1984 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Технологическое обеспечение прецизионной механической обработки пластин кремния при разделении их на базовые элементы алмазными дисками  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.02.08 Технология машиностроения  $f Коновалов Игорь Васильевич  $g Академия наук Белорусской ССР, Институт проблем надежности и долговечности машин 
210 # # $a Минск  $d 1984 
215 # # $a 19, [1] с.  $c рис. 
320 # # $a Библиография в конце текста (9 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39182  $a ЭЛЕКТРОННОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24620  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15206  $a КРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18168  $a МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14444839  $a АЛМАЗНЫЕ ДИСКИ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.38:621.923(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 55.19.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.02.08  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-SEK-191084  $a Коновалов  $b И. В.  $g Игорь Васильевич  $c обработка материалов 
712 0 2 $3 BY-SEK-903261  $a Институт проблем надежности и долговечности машин  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19981005  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba199097.pdf