Технологическое обеспечение прецизионной механической обработки пластин кремния при разделении их на базовые элементы алмазными дисками: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.02.08 Технология машиностроения / Коновалов Игорь Васильевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Коновалов, И. В. |
| Published: | Минск , 1984 |
| Physical Description: |
19, [1] с. : рис.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 3 , available: 3 | Available Place a Hold | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||