ВЧ-плазменные низкотемпературные процессы осаждения и травления при изготовлении МОП БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Мин. радиотехн. ин-т
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Немцев, В. С. (род. 1954) |
| Апублікавана: | Мн. , 1988 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
16 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||