ВЧ-плазменные низкотемпературные процессы осаждения и травления при изготовлении МОП БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Мин. радиотехн. ин-т
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Немцев, В. С. (род. 1954) |
| Wydane: | Мн. , 1988 |
| Opis fizyczny: |
16 с.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||