|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br227169 |
| 005 |
20171204145522.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19981104d1988 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a ВЧ-плазменные низкотемпературные процессы осаждения и травления при изготовлении МОП БИС
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01
$f Мин. радиотехн. ин-т
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Для служ. пользования. Экз. N ...- Библиогр.: с.13-16 (25 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105390
$a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34342
$a ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23808
$a ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105397
$a ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22115
$a АСАДЖЭННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34343
$a ТРАЎЛЕННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23809
$a ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a МОП
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14.002:621.794.4(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.19
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2451745
$a Немцев
$b В. С.
$g Виктор Силивеевич
$c микроэлектроника
$c поэт
$f род. 1954
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19981104
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba221705.pdf
|
