Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.08 Физика плазмы / Барсуков Юрий Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Барсуков, Ю. В. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2022 |
| Физические характеристики: |
24 с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||