ВЧ-плазменные низкотемпературные процессы осаждения и травления при изготовлении МОП БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Мин. радиотехн. ин-т
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Немцев, В. С. (род. 1954) |
| 出版: | Мн. , 1988 |
| 實物描述: |
16 с.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: | |
| 在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||