ВЧ-плазменные низкотемпературные процессы осаждения и травления при изготовлении МОП БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Мин. радиотехн. ин-т
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Немцев, В. С. (род. 1954) |
Опубликовано: | Мн. , 1988 |
Физические характеристики: |
16 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|