ВЧ-плазменные низкотемпературные процессы осаждения и травления при изготовлении МОП БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Мин. радиотехн. ин-т

Сохранено в:
Шифр документа: Ба221705,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Немцев, В. С. (род. 1954)
Опубликовано: Мн. , 1988
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
Ба221705 ОФХ отдела книгохранения (039) 15:4:4:22 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал