Исследование особенностей процесса газофазной эпитаксии слоев GaN и ALGaN из металлорганических соединений и оптимизации роста на подложках сапфира и SiC для приборных применений: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Заварин Евгений Евгеньевич
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Заварин, Е. Е. |
| 出版: | Санкт-Петербург , 2008 |
| 實物描述: |
20 с. : ил.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||