Исследование особенностей процесса газофазной эпитаксии слоев GaN и ALGaN из металлорганических соединений и оптимизации роста на подложках сапфира и SiC для приборных применений: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Заварин Евгений Евгеньевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//45945(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Заварин, Е. Е.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2008
Физические характеристики: 20 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000237720
005 20081117111313.0
100 # # $a 20081105d2008 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование особенностей процесса газофазной эпитаксии слоев GaN и ALGaN из металлорганических соединений и оптимизации роста на подложках сапфира и SiC для приборных применений  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.10  $f Заварин Евгений Евгеньевич  $g Учреждение Российской академии наук Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2008 
215 # # $a 20 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 18―20 (20 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar56130  $a НИТРИДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39622  $a ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83769  $a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar77311  $a МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28578  $a РОСТ КРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Заварин  $b Е. Е.  $g Евгений Евгеньевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20081105  $g psbo