Исследование особенностей процесса газофазной эпитаксии слоев GaN и ALGaN из металлорганических соединений и оптимизации роста на подложках сапфира и SiC для приборных применений: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Заварин Евгений Евгеньевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Заварин, Е. Е. |
Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2008 |
Физические характеристики: |
20 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|