Исследование особенностей процесса газофазной эпитаксии слоев GaN и ALGaN из металлорганических соединений и оптимизации роста на подложках сапфира и SiC для приборных применений: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Заварин Евгений Евгеньевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Заварин, Е. Е. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2008 |
| Физические характеристики: |
20 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||