Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Гомжин Иван Васильевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Гомжин, И. В. |
| Published: | Воронеж , 2003 |
| Physical Description: |
17 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||