Разработка методов и специализированных установок плазмохимического травления микроструктур, чувствительных к радиационному воздействию: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электронной техн.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кузнецов, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1992 |
| Физические характеристики: |
50 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||