Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Гомжин Иван Васильевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад121397,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Гомжин, И. В.
Опубликовано: Воронеж , 2003
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2Ад121397 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:79 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал