Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Дзян, А. С. |
Опубликовано: | Киев , 1990 |
Физические характеристики: |
16 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|