Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Гомжин Иван Васильевич
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Гомжин, И. В. |
| Veröffentlicht: | Воронеж , 2003 |
| Beschreibung: |
17 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||