Исследование и разработка методов идентификации и оптимизации технологических процессов в микроэлектронике и их применение при создании элементов ИМС на основе анодных оксидных пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Леоненко Виталий Васильевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Леоненко, В. В. |
| Опубликовано: | Минск , 1979 |
| Физические характеристики: |
23 с. : табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||