Исследование и разработка методов идентификации и оптимизации технологических процессов в микроэлектронике и их применение при создании элементов ИМС на основе анодных оксидных пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Леоненко Виталий Васильевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Леоненко, В. В. |
| Publicado: | Минск , 1979 |
| Descripción Física: |
23 с. : табл.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: | |
| Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Hacer reserva | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||