|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br230849 |
| 005 |
20200408141847.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19981014d1979 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка методов идентификации и оптимизации технологических процессов в микроэлектронике и их применение при создании элементов ИМС на основе анодных оксидных пленок
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование
$f Леоненко Виталий Васильевич
$g Институт электроники Академии наук Белорусской ССР
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1979
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21―23 (16 назв.)
|
| 333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11233
$a ИДЕНТИФИКАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20754
$a НИЗКИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.18
$2 nsnrsssr
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2474290
$a Леоненко
$b В. В.
$g Виталий Васильевич
$c микроэлектроника
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2460032
$a Институт электроники
$c Минск
$4 995
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar5102567
$a Минский радиотехнический институт
$4 595
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19981014
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br230849&fileID=164892
|
