Исследование и разработка методов идентификации и оптимизации технологических процессов в микроэлектронике и их применение при создании элементов ИМС на основе анодных оксидных пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Леоненко Виталий Васильевич
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Леоненко, В. В. |
| Veröffentlicht: | Минск , 1979 |
| Beschreibung: |
23 с. : табл.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Verfügbar Bestellen | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||