Исследование и разработка методов идентификации и оптимизации технологических процессов в микроэлектронике и их применение при создании элементов ИМС на основе анодных оксидных пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Леоненко Виталий Васильевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Леоненко, В. В. |
| Апублікавана: | Минск , 1979 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
23 с. : табл.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||