Исследование и разработка методов контроля электрофизических параметров многослойных структур на различных этапах производства интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.11 Полупроводниковые и микроэлектронные приборы и технология их производства / Буйко Лев Дмитриевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Буйко, Л. Д. |
| Publicado: | Минск , 1977 |
| Descripción Física: |
20 с., включая обложку
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: | |
| Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||