Исследование и разработка методов контроля электрофизических параметров многослойных структур на различных этапах производства интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.11 Полупроводниковые и микроэлектронные приборы и технология их производства / Буйко Лев Дмитриевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Буйко, Л. Д. |
| Опубликовано: | Минск , 1977 |
| Физические характеристики: |
20 с., включая обложку
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 1 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||