Исследование и разработка методов контроля электрофизических параметров многослойных структур на различных этапах производства интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.11 Полупроводниковые и микроэлектронные приборы и технология их производства / Буйко Лев Дмитриевич
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Буйко, Л. Д. |
| 出版: | Минск , 1977 |
| 實物描述: |
20 с., включая обложку
|
| 語言: | Русский |
| 主題: | |
| 在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 1 | 可用 預訂 | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||