|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br227279 |
| 005 |
20161024140438.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19980619d1977 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка методов контроля электрофизических параметров многослойных структур на различных этапах производства интегральных схем
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.12.11 Полупроводниковые и микроэлектронные приборы и технология их производства
$f Буйко Лев Дмитриевич
$g Институт электроники Академии наук Белорусской ССР
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1977
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с., включая обложку
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—20
|
| 333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105390
$a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39284
$a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334070
$a КОНТРОЛЯ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3170564
$a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.774.3(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.11
$2 nsnrsssr
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-293221
$a Буйко
$b Л. Д.
$g Лев Дмитриевич
$c электроника
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2460032
$a Институт электроники
$c Минск
$4 995
|
| 712 |
0 |
0 |
$3 BY-NLB-ar2107521
$a "Интеграл"
$g научно-производственное объединение
$c Минск
$4 595
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19980619
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba153032.pdf
|
