Исследование и разработка методов контроля электрофизических параметров многослойных структур на различных этапах производства интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.11 Полупроводниковые и микроэлектронные приборы и технология их производства / Буйко Лев Дмитриевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Буйко, Л. Д. |
| Published: | Минск , 1977 |
| Physical Description: |
20 с., включая обложку
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 1 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||