Моделирование ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук:(05.27.06) / Мин.радиотехн.ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Панков, В. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1993 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||