Моделирование ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук:(05.27.06) / Мин.радиотехн.ин-т
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Панков, В. В. |
| Published: | Мн. , 1993 |
| Physical Description: |
20 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||