Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100 - 2000эВ: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук:(05.27.06) / Мин.радиотехн.ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Свадковский, И. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1993 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 1 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||