
Моделирование ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук:(05.27.06) / Мин.радиотехн.ин-т
Zapisane w:
Format: | |
---|---|
1. autor: | Панков, В. В. |
Wydane: | Мн. , 1993 |
Opis fizyczny: |
20 с.
|
Język: | Русский |
Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|