Моделирование ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук:(05.27.06) / Мин.радиотехн.ин-т
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Панков, В. В. |
| Publicado: | Мн. , 1993 |
| Descripción Física: |
20 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Hacer reserva | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||